二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9355439 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種最先進的晶圓測試和計量設備，用於精確測量晶圓的地形。系統執行三維光學臨界維度（CD）測量，並提供監測半導體器件過程變化的能力。KLA 4500 SURFSCAN利用獲得專利的傅立葉變換剖面圖（FTP）技術,利用基於相對低成本商用介電鏡的幹涉儀來測量晶圓表面的地形特征。然後,此單元允許對進程運行的開始和結束之間的特征及其差異進行精確的CD測量。TENCOR 4500 SURFSCAN配備了電動XY級等多種設備和工具，用於晶圓的處理和翻譯；用於幹涉儀「膨脹」（聚焦）物鏡運動控制的電動Z級；用於晶圓對準和配準的集成顯微鏡/ir熒光模式識別模式；幹涉儀分束器的電源；以及用於最小接觸掃描和采樣功能的樣品探針。4500 SURFSCAN還為用戶提供了多種分析和可視化功能。首先，它能夠以幾種格式提供包括CD測量在內的詳細信息。這是由於它具有實時圖像處理功能，可以快速檢測過程條件的變化。此外，它還能夠提供有關光譜圖像變化以及模式強度變化的信息。其次，機器允許用戶過濾數據，以便專註於特定的趨勢和波動。最後,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN憑借其自動CD測量功能,能夠比以往任何時候都更快速、更準確地提供CD測量,從而使用戶能夠快速檢測到過程問題。總體而言，KLA 4500 SURFSCAN是一種功能強大且高效的工具，用於快速準確地測量半導體器件過程監測的晶片地形。其通用、先進的設計讓用戶能夠準確檢測工藝條件的變化，提高晶圓產量，減少工藝廢料，最終提高盈利能力。