二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9363455 待售

KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN
ID: 9363455
Wafer inspection system Surface contamination: 2"-6" Detects particles: 0.2µm Automated cassette to cassette Haze measurement and seven level haze map Un-patterned wafers Repeatability: 1% at Standard deviation Resolution: 0.2µm Substrate material: Opaque, polished surface that scatters < 5% incident light Substrate thickness: 0.3 - 0.75 mm Substrate size, 3"-6" Throughput: 150 mm diameter for 30 seconds per load.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種先進的晶圓測試和計量工具,設計用於生產級晶圓的檢驗和表征。憑借其專利技術,KLA 4500 SURFSCAN能夠以高吞吐量處理多達5英寸的晶圓測量。它具有足夠的剛性和靈活性,可以適應客戶的需求,同時仍能提供快速、準確和可靠的結果。TENCOR 4500 SURFSCAN提供了一整套自動化晶圓測試和計量功能。其先進的測試和分析選項包括地形、薄膜厚度、紋理、組成、應力、晶體取向和其他半導體特性等缺陷定義手段。該系統還提供自動特征識別,能夠快速檢測和分析晶圓表面的異常特征。4500 SURFSCAN使用高度先進的成像技術來捕獲恒場和恒力圖像,分辨率高達5皮米。利用其強大的圖像處理算法,系統甚至可以檢測整個晶圓表面的亞微米級特征。這使得晶圓計量能夠在流程的所有階段進行,確保流程的所有步驟都得到準確的監控和測試。此外,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN還配備了功能強大的軟件包,使操作員能夠分析測量結果。它提供了廣泛的可視化、數據處理和統計分析功能,這些功能對於快速和準確的晶圓檢查和特性分析至關重要。KLA 4500 SURFSCAN旨在支持半導體制造商尋求無缺陷的生產工藝。作為市場上領先的計量工具之一,它保證了可靠性和準確性,同時仍然尊重客戶的成本約束。該系統提供了自動化晶圓計量功能和成本效益的完美融合,使其成為生產級晶圓測試和表征的理想選擇。
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