二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9411440 待售

KLA 4500是一種先進的晶圓測試和計量設備,提供卓越的過程控制、測量精度和可重復性。4500提供了評估和測量當今先進技術基板上關鍵表面的綜合解決方案,同時還提供了先進的缺陷檢測功能,以確保晶圓生產線的高質量控制。4500結合了一套工藝控制選項，包括掃描電子顯微鏡（SEM）計量、光學圖像分析、審查編輯和半導體行業的高級缺陷檢查，以及能夠實現從樣品到樣品的自動晶圓檢查和測量的特定於樣品的軟件。4500的設計目的是快速準確地分析基板上的臨界層，包括先進的圖樣晶片上的臨界層；復雜的3 D納米級結構；遮罩層，如門和裝飾；和特殊的薄膜堆棧。它通過高分辨率的成像和專門的算法實現了這一點,這些算法可以檢測最小缺陷並將其映射到± 1 nm以內。通過快速、自動化的分析功能,系統使制造商能夠快速查明和解決問題,同時提供對其產品的全面評估。4500包括多種功能,使其能夠提供快速、準確的結果。這些包括：高分辨率成像能力，能夠詳細可視化整個地表地形；分析掃描電子顯微鏡（SEM）圖像的多個信號處理器；以及用於將成像結果與樣品進行比較以測量晶圓缺陷或確定其他特性的復雜數據算法。此外,4500還包括一個獲得專利的MDMVA（心軸形狀缺陷測量和可視化算法）特征,用於快速檢測、分類和量化其他難以測量的缺陷。4500還為制成品提供了大量其他好處,包括提高產量和縮短周期時間。這是由自動化晶圓測試和計量單元的數據分析來實現的，這些數據分析可用於優化流程和參數。利用這臺機器，制造商能夠快速分析工藝趨勢，最大化吞吐量並確保最優質的基材。總而言之，TENCOR 4500是晶圓測試和計量的可靠且經濟高效的解決方案。它為測量當今先進技術基板上的關鍵表面提供了卓越的速度、精度和可重復性。此外,該工具還提供了廣泛的功能和靈活性,使制造商能夠充分利用其晶圓測試和計量操作。