二手 KLA / TENCOR 4500 #293630338 待售

KLA/TENCOR 4500是一種高精度晶圓測試和計量設備，設計用於管理半導體器件制造的先進質量控制和過程監控。該系統利用精度、通用性和速度，對晶圓缺陷、參數性能和工藝均勻性進行了高效、可靠和可重復的分析。KLA 4500由幾個組件組成，包括探測站、光頭、質量保證解決方案和測量站。TENCOR 4500探測站用於在掃描過程中訪問、測量和采樣晶圓上的單個設備。它由一個XY或「定向」級和一個Z軸探針位移機構組成，能夠進行精確定位和精確測量。探測站和其他組件之間的連接通過柔性電纜單元提供,而機械臂則用於操縱晶圓和模具位置。光頭是4500功能的關鍵組成部分。它裝有各種顯微鏡物鏡，可以放大蝕刻裝置、特定的感興趣區域和整個晶圓。高精度的光學檢查可提高缺陷檢測、寬度測量和35 μ米精度等。高分辨率、全功能和高清攝像頭完成了成像,為用戶提供了一系列令人印象深刻的選項可供選擇。KLA/TENCOR 4500的質量保證解決方案可實現缺陷自動檢測、缺陷分類、晶圓圖像分析和使用算法處理收集的數據。測量站用於後處理掃描數據，能夠存儲圖像，提供統計分析和跟蹤性能趨勢。這臺機器以每小時175個晶圓的吞吐量進行計時,有效地降低了生產線的停機時間並提高了設備質量。它專為提高效率和易用性而設計,具有直觀的用戶界面、自動化的例行操作和各種自定義選項等功能。結合其可靠性和質量，KLA 4500是現代半導體器件制造的理想晶圓測試和計量工具。