二手 KLA / TENCOR 4500 #293662761 待售

KLA/TENCOR 4500是一種高度先進的晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體晶圓的電氣、光學和物理特性。該系統采用了新的KLA高級模式檢測單元（APD），它允許更準確和可靠的計量。這臺機器配備了自動化的單晶片AFM級，即使在小型結構上也能提供更高分辨率的圖像。它還包括掃描電子顯微鏡和用於化學分析的時間解析光譜，產生高度精確的結果。KLA 4500為晶圓級的電氣、光學和物理特性提供了廣泛的測量能力，包括臨界尺寸計量（CD）、線寬粗糙度（LWR）、叠加計量、薄膜厚度計量、應力和光致發光（PL）測量。所有這些測量都得到高分辨率內置光刻膠掃描儀的支持。該掃描儀還可用於缺陷檢查，檢測甚至最小的缺陷及其對晶片性能的影響。該工具還擁有用於數據分析和優化的高級軟件工具。Advanced Pattern Detection （APD）軟件提高了數據分析和控制的準確性和重復性,並縮短了晶圓周期。TENCOR Pattern Inspector軟件用於發現和表征缺陷,測量其大小、形狀和影響。該資產還設有一個研究模塊，可以詳細研究絕緣體和半導體等材料的性質。TENCOR 4500有很大的工作區，最多可以一次加載八個晶圓，並且可以測量300毫米以上的晶圓。這款機型因其獨有的速度、精度和可重復性組合，非常適合大型生產作業。該設備設計符合最嚴格的安全環保標準，符合最新的行業標準。4500是一個非常強大的系統,可提供精確的測量、精確的分析和高速數據處理,從而降低成本並最大化性能。憑借其廣泛的功能和先進的軟件工具，它是詳細晶圓測試和計量的完美單元。