二手 KLA / TENCOR 50-0002-03 #199615 待售

KLA/TENCOR 50-0002-03是一種晶圓測試和計量設備，為半導體制造商提供先進的缺陷檢測能力。KLA 50-0002-03系統包含包括自動晶片識別、晶片邊緣數據收集、光學檢查、電氣計量、叠加註冊以及站點到站點/跨站點比較功能等功能。利用自動晶片識別功能，設備能夠準確識別出正確的晶片，並相應生成檢測裝置。晶片邊緣數據收集功能可收集10mm和3mm位置的邊緣數據,以實現對齊和聚焦穩定性。光學檢測功能提供了三維靜態和動態缺陷檢測功能,能夠檢測各種缺陷。電氣計量的特點是測量包括薄板電阻、接觸電阻、電容和電導在內的廣泛的電氣參數。此外，該機還可以測量三角洲電阻、泄漏電流、擊穿電壓以及動態電氣測試的閾值。TENCOR 50-0002-03的叠加配準特性允許用戶在計量、晶圓處理和曝光過程中測量晶圓對齊和叠加控制。現場/跨地點比較功能允許在制造過程中同時進行缺陷檢查和電氣測量,並與稱為「參考地點」的標準進行比較。用戶定義的檢查參數（如可接受的缺陷率、尺寸閾值和通過/失敗標準）可輸入到每個測試的工具中。此外，檢查數據可以存儲在數據庫中進行統計分析。綜上所述，50-0002-03是一種晶圓測試和計量資產，具有自動晶圓識別、晶圓邊緣數據收集、光學檢查、電氣計量、叠加註冊以及站點到站點/跨站點比較功能。這些功能使用戶能夠測量和比較各種電氣參數、檢測和尺寸缺陷,並存儲結果以進行統計分析。該模型是尋找先進缺陷檢測和計量設備的半導體制造商的理想選擇。