二手 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #64216 待售

KLA/TENCOR 5000 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，提供快速、精確的圖像分析，允許對加工過的晶圓上的設備進行高分辨率檢查。該成像系統采用先進的設計，包括電動XY級、CCD攝像機和靈敏照明。該單元獲取圖像的速度是常規靜態系統的七倍，並為缺陷檢測和特性鑒定提供了極高的靈敏度。自動化舞臺的快速掃描由一臺創新的電動控制機器提供動力，高速圖像采集使得對晶圓地形的深入分析成為可能。KLA 5000 Surfscan針對計量和過程監控應用進行了優化,能夠測量關鍵結構、缺陷的尺寸和大小,以及基於圖像的分類和缺陷隔離。該工具具有高靈敏度和分辨率,分辨率為每像素1微米,不需要次像素分辨率。這樣可以進行高度精確的測量,從而能夠快速、準確地監測和修復流程變化。該資產配有一整套操作員、分析和測量工具以及圖像數據庫和統計分析功能。它能夠分析各種設備地形數據,如表面壽命和粗糙度,並提供以各種格式顯示數據的強大功能。直觀易用的用戶界面，方便快速準確地執行檢查任務。TENCOR 5000 Surfscan擁有業界領先的亞像素精度和缺陷航向,這意味著它可以檢查需要高精度的復雜特征的各種模式,如V形凹槽、接觸孔、介電層等。此外，先進的可編程計量和分析軟件可以對缺陷進行精確的表征。這是專為提高產量、加快工藝開發和減少晶圓損耗而設計的，使5000 Surfscan成為半導體和電子器件制造商理想的晶圓測試和計量模型。