二手 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #9284003 待售

KLA/TENCOR 5000 Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量平臺，設計用於現代半導體加工。它能夠提供表面地形的高速測量。該設備提供卓越的測量精度、吞吐量和靈活性,使用戶能夠在晶圓測試和計量方面實現前所未有的生產力。Surfscan基於高級模塊化體系結構構建,用戶可以根據自己的特定需求自定義系統。它具有廣泛的功能和選項，包括多個測量階段、各種高級探測器、驅動器和測量算法。這些特性允許測試各種類型的基板，包括矽片、玻璃和陶瓷。該單元配備了幹涉測量、共聚焦顯微鏡、表面輪廓測量等先進測量能力。幹涉測量允許精確測量表面地形，而共聚焦顯微鏡則用於檢測階梯高度和凹陷面積寬度等細微的高度變化。采用表面剖面圖法分析晶圓的平整度，並提供高分辨率的結果。該機還配備了高精度步進電機，使基板的高速掃描能夠產生表面結構的詳細圖像。此外,Surfscan還能夠測量諸如顆粒、顆粒邊緣粗糙度、邊緣丘陵和凹槽等缺陷。Surfscan附帶的高級軟件包設計用於完整的數據可視化和晶圓平整度和缺陷特性分析。它可以檢測和測量用戶可能感興趣的各種參數,包括晶圓弓、厚度配準、臨界尺寸（CD）映射、缺陷計數、粒徑、非均勻性等等。該工具建立在高度可靠的平臺上,具有出色的用戶友好性。它配備了現代化的用戶界面，允許用戶快速訪問資產的所有特性和功能。此外,該模型易於配置和故障排除。KLA 5000 Surfscan是業界領先的晶圓測試和計量平臺,提供高精度測量和卓越的吞吐量。它是可自定義的、功能豐富的,並且在晶圓測試和計量方面提供卓越的性能。