二手 KLA / TENCOR 5000 #6428 待售

KLA/TENCOR 5000是一種晶圓測試和計量設備,它提供一系列技術,以提高生產吞吐量、提高質量控制和提高產量。它是一個集成的自動化晶圓計量系統,能夠自動化關鍵的前端制造過程,如缺陷檢查、審查和分類、關鍵尺寸測量和晶圓上測量。KLA 5000單元擁有一套集成工具,可自動控制設備測量的不同階段。機器的主要部件包括：電荷耦合器件 （CCD）用於晶片成像，帶有6軸機動臂的螺旋槳用於自動晶片探測，帶有觸摸屏界面的計量控制器，用於缺陷檢測和分類的視覺庫，用於尺寸測量的激光幹涉儀，用於溫度、濕度和壓力控制的環境室，以及用於精確成像的熱顯微鏡室。該工具旨在處理各種材料和工藝，包括低k電介質膜、高級包裝基板、MEMS設備、納米結構材料和應變基板。此外，資產的每一部分都被設計成數字化的，使得能夠在不同地點之間傳輸計量數據，如晶圓晶圓廠、測試實驗室或客戶站點。這樣,客戶可以快速輕松地查看、分析和管理其數據。結合先進的缺陷檢測、審查和分類技術，TENCOR 5000模型提供了有關設備性能的寶貴知識。這樣就可以表征缺陷行為並識別制造過程的變化和弱點。此外，通過結合CDSEM和AFM技術，它能夠獲得高分辨率成像，從而能夠對復雜結構進行準確分析。憑借其一套先進技術和自動化控制,5000設備可以大大提高前端制造工藝的效率和準確性,使客戶能夠生產高質量的設備,並以更經濟高效的方式解決產量限制問題。