二手 KLA / TENCOR 5010 #9083811 待售

KLA/TENCOR 5010是一款功能強大的晶圓測試和計量設備，旨在滿足當前和未來半導體制造的需求。該系統提供業界領先的精度、準確性和速度,能夠對晶片進行快速、可重復的評估和分析。它配備了一個自動加載單元，使其能夠使用高達8英寸的卡帶大小，並分析高達每小時50個晶圓。KLA 5010具有先進的計量和晶圓測試能力，包括光學和電氣檢查，以及缺陷分類和分析。它集成了四個主要組成部分：掃描機、自動晶圓處理、串聯過程控制（IPC）模塊和集成測量站。掃描工具使用光電成像資產來捕獲反射率、透射光、熒光和偏振信息。這與無損測量技術相結合，能夠同時分析多種幾何形狀的多種膜，包括薄膜、厚膜和階梯膜。晶圓處理模型能夠同時進行邊緣掃描和隨機掃描,從而最大程度地減少失真,同時保持測量的最高精度。它可以配置為處理不同的卡帶大小和晶片/磁帶類型,包括安裝在晶圓環中的卡帶、手動或電動有蓋卡帶以及漏鬥板。該設備還支持使用Quantum Interface Pixel Map（QIPM）的數據映射，它允許用戶快速準確地定位晶圓上的點和缺陷。IPC模塊提供了控制晶片質量的有效手段，適用於前端和後端晶片分選。集成測量站提供自動中心探測、三點和點探針、高精度邊緣掃描和進一步分析功能等計量功能。TENCOR 5010是晶圓測試和計量的終極結合，確保了快速、準確和可重復的質量控制過程。該系統滿足當今對復雜有效的晶圓測量過程的要求。