二手 KLA / TENCOR 5011 #136438 待售

KLA/TENCOR 5011是一種高靈敏度、非接觸式自動晶圓測試和計量設備。它用於各種半導體應用，如晶圓表面檢查、晶圓缺陷定位、臨界尺寸（CD）測量、叠加誤差測量和表面輪廓測量。KLA 5011系統利用了兩種先進的非接觸成像技術，使高速和超靈敏晶圓數據分析成為可能。光學散射測量（OS）技術用於晶片表面表征,即使在表面結構復雜的晶片上,也能以更高的精度和可重復性進行快速測量。安裝在操作系統機器下方的掃描電子顯微鏡（SEM）成像單元使操作員能夠識別、隔離和分析晶圓表面上的單個特征或缺陷。這兩項先進技術鏈接到集成的KLA工具，該工具提供關鍵信息，如晶圓表面的詳細掃描和叠加信息。這使操作員能夠快速準確地分析晶圓的幾何形狀、缺陷和組成。TENCOR 5011資產設計為高度自動化，周期時間為15秒，全位圖圖像采集速率為1.1秒，吞吐量為200晶圓/小時。它還可以處理直徑從2英寸到8英寸的晶片，最小特征尺寸為1微米。該模型的復雜算法支持快速、自動化的形狀分析,即使對於具有亞微米特征的復雜曲面結構也是如此。此外，TENCOR專有的自動操作功能使用戶能夠快速準確地識別和評估晶圓圖上的異常值。此功能自動確定和顯示趨勢,並快速查找進程參數更改。5011設備設計為提供強大的性能、速度和準確性，可用於多種應用。KLA/TENCOR提供了一系列可選的附加模塊,包括測量板邊緣、自動孔隙分析、打孔對準、填充曲面和劃線的能力。該系統設計為可升級,能夠集成到現有生產線中。其魯棒性能保證操作員每次都能獲得可靠的晶圓測試結果。