二手 KLA / TENCOR 5011 #293616228 待售

KLA / TENCOR 5011
ID: 293616228
Overlay precision measurement system.
KLA/TENCOR 5011是市場上最先進的晶圓測試和計量系統之一。它用於測量半導體晶片上的各種關鍵特性和電氣特性。該設備能夠以高精度處理尺寸為8英寸的晶片,非常適合各種行業,包括電信、電力、汽車和LED照明。該系統由兩個主要組成部分組成:晶圓檢測站和晶圓計量/測試站。晶圓檢測站包括顯微鏡、激光、聚焦和對準以及圖像處理能力。該站允許對晶片的表面和結構進行詳細的檢查和表征。通過拍攝每個晶片的高分辨率圖像,設備能夠識別出可能影響半導體產品運行的缺陷和其他不規則性。晶圓計量/測試站設有功能強大的光譜儀和一系列自動測試和測量設備。該站允許精確測量晶圓上的各種特性和電性能。這包括測量薄膜厚度等晶片表面的地形,以及片材和接觸電阻等電氣特性。通過提供物理和電氣數據,機器能夠準確識別和表征晶圓表面上的過程變化。除了這些功能外,該工具還提供了出色的串聯缺陷檢測功能。通過利用資產的高級檢查和計量功能,客戶能夠快速識別、分析和糾正晶圓表面上發現的任何缺陷或不規則性。總體而言,KLA 5011是一種高度可靠和通用的晶圓測試和計量模型。通過提供晶片表面的詳細分析和表征,以及先進的缺陷檢測,此設備成為各行業客戶必不可少的工具。
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