二手 KLA / TENCOR 5011 #9226125 待售

KLA/TENCOR 5011是一種高度精確的晶圓測試和計量設備，用於晶圓分析和缺陷發現。這一計量系統利用掃描電子顯微鏡（SEM）技術和強大的光學成像技術相結合，捕獲了整個晶圓表面的高度詳細的測量和照片。KLA 5011在單個計量單元中提供完整的晶圓分析和缺陷檢測。TENCOR 5011利用專有的晶圓傳輸機，設計用於通過刀具操縱每一個晶圓表面。這種傳輸資產設計用於在SEM成像和光學成像系統中精確、精確地傳輸矽晶片,而不會造成損壞。一旦晶片就位，模型就能進行二維（2D）邊緣掃描、三維（3D）成像、非接觸式步高、晶片步高和電阻率測量。5011針對高精度和速度進行了優化,允許廣泛的晶圓分析和缺陷檢測。該設備能夠在單個自動化平臺中檢測和識別諸如位錯、工藝變化和顆粒汙染等缺陷。此外，該系統還能夠通過缺陷、階段問題、鑲嵌線、形態特征、電阻率指紋以及其他各種晶圓特性檢測打印。KLA/TENCOR 5011的光學成像元件能夠提供極高分辨率的晶圓表面圖像。這允許識別否則無法檢測到的缺陷和特性。光學成像單元還配置用於檢測暗場模式下的缺陷，從而允許清晰的對比度檢測。除了晶圓測試和計量功能外，KLA 5011還提供了一套全面的數據分析和排序工具。此功能使用戶能夠快速輕松地對數據進行排序,以確定檢查的優先級、標記缺陷,並通過計算和統計分析確定產量影響。TENCOR 5011是一種強大可靠的機器，能夠提供高度準確可靠的晶圓測試和計量結果。此工具的設計目的是在廣泛的晶圓尺寸和過程中提供更廣泛的覆蓋範圍,並且能夠提供晶圓測試和計量領域中可用的最高精度和最快吞吐量。