二手 KLA / TENCOR 5015 #9003106 待售

KLA/TENCOR 5015是晶圓測試和計量的領先設備。它提供了先進的掃描電子顯微鏡（SEM）成像技術，用於觀察和測量半導體晶片上的器件結構參數。該系統能夠捕獲極詳細的設備結構圖像，如橋梁和閘門結構，分辨率高達5納米。KLA 5015提供多種配置,用於評估不同類型的設備。該腔室可以配置兩個或三個電子束端口，使大型樣品能夠同時進行多束成像和計量。該單元利用獲得專利的圖像處理算法來精確檢測和測量設備特性，在執行測量時允許非常高的吞吐量和出色的重復性。TENCOR 5015配備了高電流光源、自動校準、全機監控以及先進的離軸照明系統，用於產生樣品的多個視圖。此外,由原位配方控制的晶圓級能夠執行自動熱測試序列。5015還集成了統計過程控制引擎和一整套軟件包,以便為復雜的設備層和結構提供快速、準確的結果。該工具包括完全集成的潔凈室過濾器、溫度和濕度傳感器以及其他功能，以確保環境的清潔度和結果的可重復性。KLA/TENCOR 5015上的終端始終保持在最佳範圍內,以實現精確成像。資產的大電流光束源確保可以精確掃描非常細的線條。集成的樣品處理系統通過精確的視覺系統和專用的腔室加載使晶片的裝卸自動化。該模型的自動化功能可確保最小的工作量和更高的效率。KLA 5015是使用最先進的技術（如多電壓成像、產量統計分析、自動缺陷定位和其他新過程）時的出色設備。此外,其廣泛的軟件包使復雜的成像和計量任務能夠快速準確地執行,從而降低了擁有成本。該系統減少了查看圖像的需要,並提供了有關所有設備參數的可跟蹤數據。此單元是大多數晶圓制造操作的理想選擇。