二手 KLA / TENCOR 5015XP #9105783 待售

KLA/TENCOR 5015XP是一種技術先進的晶圓測試和計量設備，旨在提高產量，減少周期時間，增加半導體制造商的成本節約。通過將市場領先的人工智能和高分辨率空中成像相結合，KLA能夠準確識別、檢查和測量正在處理的晶片上每個單獨芯片的特性。該系統在測量每個芯片的形狀和尺寸以及檢查芯片表面方面設計得非常精確。它配備了直觀的人性化界面，因此操作員可以快速輕松地設置測試參數，並即時調整計量參數。該單元還配備了一個專有的分析包，創造下一代邊緣檢測（NGED），它允許邊緣檢測分析精確測量。這使得運算符可以在多個點分析晶片，而不僅僅是一個點，每個芯片都在一個單獨的層面上進行精確的分析。該機還采用了低噪聲、高精度的運動工具，具有低振動的空氣軸承設計，允許光滑、精確地定位正在處理的晶片。此外,該資產還利用高速數據采集模型加快了數據收集速度,並利用計量級攝像機捕獲了每個單獨模具的高分辨率圖像。KLA 5015XP允許運算符同時測量各種模具特性，包括邊緣定義、模具尺寸、對稱性、平整度、圓度、面積、周長和臨界尺寸。該設備還與Etch、Diffusion、Lithography和RoundRobin軟件無縫集成,從而實現數據的無縫後處理和後期制作對齊。最後，由於維護輔助警報單元，系統高度可靠，如果需要維護，它會實時提醒操作員。這有助於將停機時間保持在最低限度,從而提高生產效率並改善成本節約。