二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293629138 待售

KLA/TENCOR 5100 XP是一種先進的晶圓測試和計量設備,采用最新技術設計,在晶圓級分析和測試中提供無與倫比的精度和準確性。KLA 5100 XP具有多功能、高精度的映像平臺,並得到集成軟件解決方案的支持,可簡化工作負載並加快測試和分析速度。TENCOR 5100XP包括一個高分辨率的標線圖樣照明（PIT），提供精確的模式識別和驗證印刷線組和設備。創新的StackedWells照明技術通過檢測測試結構的旋轉和傾斜角度的微觀變化，進一步提高了分析能力。此外，先進的多層標線（MLR）掃描系統可以以更高的速度和精度掃描大面積。5100XP還提供了快速的高靈敏度檢測機制,從而顯著提高了測試吞吐量。這使用戶能夠快速獲取受限制的數據並進行快速缺陷分析和識別。此外,該單元還具有全面的計量能力,包括晶圓型識別（WTR）、粒子計數（PC）和圖像捕獲（IC）。另外還可以通過添加CD-SEM模塊來支持晶圓曲率、升程和3維臨界尺寸（CD）測量。KLA 5100XP可以加工多種基材，包括矽、玻璃和塑料晶片，以及MEMS變體基材，以確保最佳的計量結果。KLA/TENCOR 5100XP具有龐大的吞吐量容量、直觀的接口和自動化系統,因此需要最少的操作員培訓,並在生產線環境中提供一致、可重復的性能。此外,它還提供高級機器升級,包括Automated Defect Review軟件包和附加的大面積掃描模塊。這些附加功能以最低的成本和工作量提高了效率並提高了吞吐量。總體而言,TENCOR 5100 XP是一種先進的晶圓測試和計量工具,可為要求苛刻的應用程序提供可靠的平臺。其先進的特性能夠快速、準確地分析多種基材，保證行業領先的準確性和可重復性，從而在測試過程的各個階段實現高效的晶圓級分析。