二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293727708 待售
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ID: 293727708
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Overlay measurement system, 8"
Wafer loader system:
Transport system: (2) Cassette loader / unloader
Pre-alignment: OF Detection function
Control console:
Menu terminal
Image display terminal
5501 Analysis station
DEC VLC 4000
RAM: 16 MB
QIC Tape drive: 320/525 MB
F.D Drive: 3.5"
Image hard copy
Printer
SECS
Patlite
Hard Disk Drive (HDD): 2 GB
Wafer thickness: 725 µm
Minimum die size: 3 mm
Maximum die size: 50 mm
Measurement throughput: <85 Sheets / hour
Clean dry air:
Flow rate: 84.9 l/min
Pressure 603 kg/cm²-7.7 kg/cm²
Tube, 1/4"
(3) Vacuums:
Hg: 635 mm
Flow rate: 28.3 l/min
Tube, 1/4"
Exhaust:
Duct system: 14.5"
Flow rate: 250 cfm
Temperature: 19°C-25°C
Power supply: 200 VAC, 20 A, Single phase, 50/60 Hz
Missing parts
1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP是為半導體制造商設計的最先進的晶圓測試和計量設備。該系統能夠對晶片進行高效、準確的測試和探測，以檢測缺陷和其他工藝不規則性。該單元具有很大的視野，能夠以極高的分辨率快速可視化和檢查晶圓表面。利用獨特的光學配置,KLA 5100 XP能夠捕獲和測量高達15 μ m的數據點,從而能夠對微觀和納米結構進行深入分析。此外，機器的FPD（條紋圖樣檢測）工具利用先進的信號處理算法來分析微觀結構和條紋圖樣，甚至檢測最微妙的結構缺陷。具有廣泛的測量功能,包括叠加和ESCp分析、表面形態分析、蝕刻深度、形狀和圓度以及跟蹤分析。此外,該工具還帶有一個可定制的圖形操控板,以支持決策。該資產配備了高速晶圓處理模型，能夠容納具有平坦和斜面的晶圓。符合人體工程學的設計使操作高效、輕松，彎曲的觀景底座為操作員創造了舒適的工作環境。內置的安全機制排除了易碎晶片的意外斷裂。TENCOR 5100XP針對生產和研究環境進行了優化,便於輕松集成到現有流程中。它易於理解的界面和直觀的圖形命令集允許輕松的操作和數據解釋,再加上簡化和靈活的工作流功能,使設備非常適合有經驗的用戶和新手用戶。總體而言，KLA 5100XP是一個綜合性晶圓測試和計量系統，非常適合滿足半導體行業的需求。它以一套高級功能為後盾,提供無與倫比的精確度和可靠性,以提供準確而有價值的信息。
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