二手 KLA / TENCOR 5100 XP #9145531 待售
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KLA/TENCOR 5100 XP是一款先進的晶片測試和計量設備,設計用於半導體晶片測試、屈服分析以及先進的缺陷和汙染控制等廣泛應用的最大生產力和吞吐量。KLA 5100 XP包含一個自動化系統,使其能夠整合和協調晶圓測試的各個階段,包括采樣、缺陷分析、晶圓映射和計量。它還提供了一個可選的高級計量單元,專門為要求苛刻的半導體應用而設計。TENCOR 5100XP采用了一系列技術,如獨特的上下晶圓對準器、激光幹涉儀和晶圓檢測成像機(WIIS)。此工具用途廣泛,能夠詳細了解缺陷位置、大小和類型。WIIS工具非常靈敏,能夠捕獲表面和地下缺陷的圖像,有助於提高產量並降低生產成本。KLA/TENCOR 5100XP還擁有多種內置的分析工具,如統計缺陷分析、光線邊緣粗糙度測量和實時3D晶圓圖。KLA 5100XP旨在為操作員提供一系列改進檢查和測量精度的功能。它可以配置各種自動晶圓映射和計量軟件選項,例如支持軟件模塊和功能強大的QMet測量。資產還具有高級缺陷檢測、分類和分析功能。該模型可以檢測單個模具上的多個缺陷並提供每個缺陷的詳細分析,從而使制造商能夠消除手動缺陷分析的耗時過程。最後,TENCOR 5100 XP具有直觀的用戶界面,允許用戶快速輕松地創建測試設置並輕松查看結果。5100 XP還包括幾種自動測量工具,如晶圓探測站、晶圓移動器和其他幾種電動儀器。所有這些元素以協調的方式協同工作,以確保最大精度和吞吐量。
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