二手 KLA / TENCOR 5100 #293603716 待售

KLA/TENCOR 5100是一種非接觸式光學晶片測試和計量設備。它提供了高精度、高速、精確和全面的設備參數,如臨界尺寸、缺陷和叠加目標。該系統設計用於半導體、光子學和MEMS設備。KLA 5100采用電源驅動的觸點安裝,配有集成的平板顯示器和電動平臺,使其能夠從邊緣移動到晶片中心,尺寸可達300 mm。其先進的光學單元能夠提供單軸、雙軸和三軸成像功能，以及廣泛的典型和定制的測量和分析特征。這臺機器還配備了多種自動化功能，以提高生產率和優化精度。這些特性包括自動對焦對準、自動缺陷檢測、自動對比度優化和掃描策略、自動叠加配準和自動工藝優化。TENCOR 5100的高級計量功能包括成像和測量陣列晶片、設備邊緣、設備角和查找失敗測試。還提供空氣軸承掃描、閉環模式定位測量、嵌入式模具檢測等專業技術。高速掃描能力可以提供更高效的吞吐量，而高級算法可以提高晶圓檢測性能。5100同樣擅長缺陷審查和分析。它能夠支持廣泛的故障分析選項,包括更改檢測、總缺陷映射和分類、缺陷聚類和熱點分析。總體而言,KLA/TENCOR 5100為高度精確和可靠的晶圓測試和計量提供了最新功能,使用戶能夠最大限度地提高產量、提高產品性能和可靠性,並減少浪費和廢料。