二手 KLA / TENCOR 5100 #293630321 待售
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KLA/TENCOR 5100是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體生產、研發的裸晶圓和圖案化晶圓上的關鍵器件尺寸。它利用先進的成像技術來捕獲樣品的表面地形數據，此外還有一系列的光譜技術和高速光學檢查以獲得晶片內/晶片上的結果。KLA 5100采用無損、無接觸的方式運行,采用高分辨率成像技術,可產生準確、可重復的測量結果,同時對材料施加最小壓力。該系統提供真正的八英寸孔徑掃描，比標準光學顯微鏡技術具有更大的視野，能夠在更少的檢查周期內捕獲更多數據。其高速光學檢測功能有助於加快產品開發,提高產品開發效率。通過分析晶片級和模具級數據，TENCOR 5100提供了晶片材料、特性、缺陷、測試骰子和模具均勻性的快速表征。此外,它的模內計量功能使模具結構的局部表征能夠評估功能。該單元配備了專利模式識別引擎，用於自動特征提取和分析。該引擎處理設備或多邊形的圖像，提取與它們的物理大小、形狀和定位相關的各種計量數據。其強大的粒子分析工具支持研究工作，利用先進的異常檢測算法檢測粒子和其他難以發現的特征。5100可以定制以滿足特定的客戶需求,支持廣泛的示例環境和應用程序。獨立式機器非常適合晶片分類、工程、學術和研究實驗室。此外,它還可以作為自動化或手動流程的一部分集成到現有生產流程中。KLA/TENCOR 5100的無損、高速成像和數據分析能力相結合，加上其多用途、緊湊的設計，使其成為前沿晶片測試和計量的理想選擇。該工具提供了準確、可行的數據,以減少周期時間和降低成本,從而實現了最先進的半導體研究和生產應用。
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