二手 KLA / TENCOR 5100 #293664945 待售

KLA/TENCOR 5100是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於整個電子行業。它使精密晶圓檢驗和計量具有可靠和可重復的結果。該系統由強大的高分辨率顯微鏡階段和多個物理屬性評估工具組成，這些工具與自動化和智能化數據分析軟件集成在一起。KLA 5100單元具有自動晶圓處理機和垂直場掃描電子顯微鏡成像工具。自動晶圓處理程序可確保精確、可重復的晶圓定位和定位,並具有微米精度。這一掃描電子顯微鏡成像資產提供了優越的分辨率，高可重復性，和廣闊的視野精確計量晶圓。TENCOR 5100模型的物理性能評估工具包括激光剖面圖、靜態和動態成像、缺陷監測以及專註於平面測量。激光輪廓測量技術是一種用於對材料表面進行3D輪廓分析和測量的掃描技術,它為地形、厚度、粗糙度、高度和顆粒尺寸分析提供了最高的深度分辨率。靜態和動態成像技術為模式識別、缺陷分類和多層晶圓監控提供了額外的圖像分析功能，以提高產量並減少故障。缺陷監測功能還使用目標成像來識別和分類缺陷特征,如線路排出和電阻率變化,從而快速準確地進行缺陷表征。將重點放在平面測量上可以對晶片進行精確的厚度或平坦度測量,以進行生產質量控制。可調焦點夾雜物提供了對特征大小和形狀的專門測量。它還有一個存儲成像和計量組件收集的數據的內存管理設備。集成在5100系統中的高級軟件提供了自動化算法，能夠以比人工檢查更高的速度和準確性分析圖像和屬性。它還提供了針對晶圓測量應用程序優化的直觀用戶界面,並具有強大的實時分析功能和數據可視化工具。該集成軟件套件設計用於高效的數據分析、半自動優化過程參數以及基於配方的工藝配方優化。綜上所述，KLA/TENCOR 5100是一個先進的晶圓測試和計量單元，提供精確的晶圓檢測和計量，並具有可靠和可重復的結果。憑借其強大的高分辨率顯微鏡階段、多種物理屬性評估工具以及集成的軟件套件，它為快速準確的缺陷表征、地形評估、生產質量控制和配方優化提供了先進的功能。