二手 KLA / TENCOR 5100 #293767084 待售
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KLA/TENCOR 5100是一種晶圓測試和計量設備,用於檢查和改進半導體工業中基板的表面光潔度。KLA 5100非常適合高級流程控制和反饋,以確保設備的最佳功能。TENCOR 5100是一種機器人光學檢測系統,能夠檢測和表征基板表面的表面缺陷、臨界尺寸變化和微粗糙度。該單元利用高分辨率的光場光學成像和自動檢查技術來識別和量化表面技術變化。憑借強大的圖像處理能力,這臺機器能夠檢測到最小的表面缺陷。5100提供了一系列功能,以幫助實現優越的基材質量,包括各種自動應力測試、精確的非接觸式計量以及最小化無損缺陷檢測的算法。該工具還提供各種檢查功能,如Auto@@-Trace、Mega@@-Trace、Visible Inspection Track (VIT)和Advanced SmartSonic。這些功能使資產能夠快速準確地檢測缺陷,從最小的粒子到較大的表面不規則。KLA/TENCOR 5100提供了高級的過程控制工具、交互式控制面板、數據采集、統計分析和報告以及集成的實時圖像分析等功能。其他功能包括用戶友好的圖形界面、多個CAD軟件包、自動縫合和硬度映射。此外,該模型還配備了自動校準設備,以確保精確測量。該系統還包括一個與Windows和Linux操作系統兼容的易於使用的軟件包。總體而言,KLA 5100是一種功能強大的晶圓測試工具,可提供全面的表面缺陷、臨界尺寸變化和微粗糙度測量功能。因此,該設備非常適合高級流程控制和反饋,確保了設備的最佳功能。
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