二手 KLA / TENCOR 5100 #9043939 待售

KLA/TENCOR 5100是一種高端晶圓測試和計量設備，設計用於生產級過程控制和數據分析。它結合了幾種不同的現有測試設備的特點，創建了一個能夠非常精確、快速和可靠的測試的集成系統。KLA 5100基於四束工具，用四個激光編碼器測量晶圓特征，從而在一次掃描中實現超精確特征測量。可以安裝多種不同類型的編碼器處理系統，為電氣和光學測量創造了非凡的靈活性和測量精度。它由一個先進的工藝室構成，以保護敏感儀器免受與工藝相關的材料、灰塵和空氣傳播的汙染。這也允許摻雜晶片、離子植入等工藝工具的整合。TENCOR 5100有一個非常大的工藝窗口，使得吞吐量比單束單元高得多。5100的集成成像機可用於以高分辨率和快速掃描時間捕獲晶圓的圖像。這使得快速識別重要特征特征和潛在過程異常變得非常容易。KLA/TENCOR 5100還具有先進的對準系統、高放大光學和橫向計量等高端計量能力。這樣就可以精確測量小特性,例如臨界尺寸（CD）,以及評估電氣性能特性。最後，KLA 5100使用復雜的軟件收集過程、測試和計量步驟的結果，並進行分析，以確保最優化可靠的過程。這樣就可以快速識別可能出現的任何過程問題,並采取糾正措施解決這些問題。TENCOR 5100是一款性能極高的晶圓測試和計量工具，為生產地板帶來靈活性、準確性、吞吐量和分析等優點。它是晶圓工藝評價、改進和優化的理想資產。