二手 KLA / TENCOR 5100 #9182972 待售

KLA/TENCOR 5100是一種晶圓測試和計量設備，可提供有效和可靠的晶圓參數測定。該系統旨在快速測量和分析一系列臨界尺寸、地形參數、表面粗糙度和其他臨界晶圓特性。KLA 5100使用精密的光學和光學變形傳感技術來精確地捕捉有關晶圓特性的數據。該裝置具有高分辨率CMOS成像相機、高分辨率光譜儀、高精度編碼器、晶圓運動用高精度步進電機，以及用於精確測量的多通道信號處理機。該工具能夠高速、深入、精確地映射晶圓的輪廓。它可以檢測由於晶圓表面蝕刻或變薄而導致的地形變化。資產的高級光學可以測量表面的地形，而高分辨率的CMOS相機可以掃描表面以檢測特征大小、高度和位置。TENCOR 5100配備了精密的信號處理模型來測量晶圓的輪廓參數。該設備采用多通道信號處理系統，能夠準確、快速地檢測晶圓特性。該單元還具有確保測量數據精度的精密空氣軸承。機器收集的數據用於分析晶圓的臨界特性。分析包括對特征大小、特征形狀、特征曲面粗糙度、曲面輪廓、特征位置和其他參數的全面回顧。此數據可幫助制造商快速診斷晶圓問題,並優化流程以提高產品質量。總體而言,5100是一種高效可靠的晶圓測試和計量工具,它提供高級功能,可快速分析和精確測量。通過提供有關晶片關鍵特性的實時數據，確保了高質量晶片的生產。