二手 KLA / TENCOR 5100 #9216348 待售

KLA/TENCOR 5100是一種晶圓測試和計量設備,旨在促進高效的生產工作流程。KLA 5100平臺是一個全場、背面（非接觸式）表面檢查和測量系統，能夠實現全面、可靠的缺陷檢測和準確度，而無需不斷的手動操作。TENCOR 5100利用先進的成像技術和強大的成像分析軟件，提供檢驗和缺陷計量數據。該成像子系統是為最大限度的缺陷檢測和精度而設計的。一種快速掃描的激光線標線、遠心光學和高分辨率的線間傳輸CCD提供了多種晶圓類型的全場覆蓋。整個5100平臺可以通過添加可選的機器人技術實現完全自動化。晶圓可以從負載端口轉移到KLA/TENCOR 5100的卡盤，然後由設備以最大的效率進行檢查。在手動操作時,KLA 5100的人體工程學設計允許操作員使用標準的人體工程學工具和功能,在舒適、符合人體工程學的位置上保持靠近檢查區域的位置。先進的計量平臺能夠對晶圓的狀況和臨界維度進行精確的測量和分析。KLA的先進功能,如自動布線、水滴缺陷計數、感興趣的區域測量和滾動前表面映射,為各種晶圓類型提供了可靠的精確度。TENCOR 5100還具有強大的軟件界面。它允許配置和控制所有機器參數、數據采集、圖像分析和報告生成。全面的板載缺陷分析工具提供了晶圓兩側的快速缺陷分類，以改進表征。5100適用於大批量生產環境，設計方便安裝、操作和維護。該工具還可以擴展和升級,使用戶能夠根據需要進行自定義。此外,KLA/TENCOR 5100還提供多種配置,以滿足不同產品和行業的特定需求。