二手 KLA / TENCOR 5100 #9236398 待售

KLA/TENCOR 5100是為先進制造和研發設施設計的高性能晶圓測試/計量設備。該系統是一個可重新配置的平臺，具有多種測試和計量選項，允許用戶根據自己的需要對其進行定制。KLA 5100的核心由一個大的視場數碼相機組成，它捕獲每個晶片的整個正面或背面的圖像。然後可以使用一套先進的機器視覺算法來分析這些圖像，以檢測各種缺陷，如顆粒和劃痕。此外,該單元還可以測量關鍵晶片工藝結果,如光刻線寬、層厚度和模具尺寸。TENCOR 5100為用戶提供高速吞吐量、準確的結果和易用性。它采用緊湊的模塊化設計,只需最小的安裝空間。機器使用光源來反向照亮整個晶片，從而能夠檢測到小於一微米大小的缺陷。它采用了最先進的CCD相機，比以前系統的相機快四倍。5100包含多個自動化過程,包括集成校準、漂移校正、檢查配方、報告、直方圖生成和數據傳輸。KLA/TENCOR 5100最多同時支持四項檢查任務，允許同時執行多種不同類型的評估。此外，該工具能夠同時檢查多個基板或面板尺寸。憑借其先進的模式匹配算法，KLA 5100可用於有效檢測晶圓表面的劃痕、穿刺和汙染物等損傷。此外，它還為測量特征參數以及脊椎和側壁信息提供了缺陷分類和對比度控制。總體而言,TENCOR 5100是業界領先的晶圓測試/計量資產,可提供高速、高精度、穩健和可重復的結果。它提供多種檢查和計量選項,以滿足各種客戶需求。通過靈活的設計,用戶可以輕松地為各種產品檢查和計量任務定制它。因此,5100可以成為高級生產和研發設施的寶貴工具。