二手 KLA / TENCOR 5100 #9236713 待售

KLA/TENCOR 5100是一種高性能晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體制造行業的需求。其先進的光學技術、高速操作、廣泛的功能和自動化操作使其成為生產和研究實驗室的理想解決方案。KLA 5100具有自動光學檢查系統,能夠自動掃描晶片的任何缺陷。它的光學頭結合了兩個激光二極管，一個成像單元和兩個不同的基板角度，允許對晶圓表面進行3D檢查。這臺機器能夠檢測微米尺度的缺陷，每秒最多可執行4次測量。TENCOR 5100還包括高級計量工具和功能。它可以測量高達25微米的幹膜水平，輪廓高達50微米。它還可以執行高達+/-2微米的叠加測量。此外，這種工具可以測量電阻率和薄膜厚度高達40納米。在操作和自動化方面，5100配備了集成的晶圓-探測站，使其能夠控制晶圓，精度高達1微米。此外,此資產能夠自動加載和卸載晶片,從而消除用戶幹預。KLA/TENCOR 5100也可以進行遠程控制和編程，從而使晶圓的操作更加容易，處理效率更高。該模型與大多數行業標準的處理工具集成，可以與各種主機計算機系統一起使用。總體而言,KLA 5100是滿足晶圓測試和計量需求的先進高效解決方案。該設備具有多種特點、高速運行和自動化任務,是任何半導體制造設施的理想選擇。