二手 KLA / TENCOR 5100 #9293246 待售

KLA/TENCOR 5100是一種晶圓測試和計量設備，旨在提高半導體工業高純度基板的生產。這個先進的自動化系統實施了一系列的過程和系統，旨在準確地測量和評估基板的純度。KLA 5100單元使用激光輔助掃描系統，以確保高精度測量基板的特性。此外，它還擁有一臺先進的無損檢測機器，利用電子束檢測小到10納米的特征。該工具具有自動校準功能，以保證測量的準確性和測試結果的準確性。TENCOR 5100資產的另一個特點是利用AOI工具和先進缺陷檢測算法的組合檢測過程異常的專有缺陷檢測模型。設備還可以同時跟蹤多個基板，確保交付結果的準確性。為了優化系統性能,5100實現了動態可重新配置自動化（DRA）平臺,該平臺能夠快速高效地更改測試配方。該平臺還允許用戶通過指定不同大小和數量的測試數據來調整測試條件，以滿足流程需求。此外,該設備還支持多種接口,包括通過以太網或USB對計算機進行現場控制。此外，KLA/TENCOR 5100工具也設計用於高分辨率成像。資產以標準反射、計量或暗場照明模式提供基板的高分辨率圖像。它還支持CCD格式或5000像素系列的掃描。此外,它的圖像處理功能允許將多個圖像縫合並將其縫合到單個視覺目標上。為了提高灰塵和汙染敏感性，該模型包括一個雙級顆粒識別，從而可以對顆粒進行準確的識別和分類。該設備還具有提供靈活檢測路線的多軸級，並配備了自動失態和過程控制系統。總體而言,KLA 5100單元提供了精密的計量和缺陷檢測功能,並結合了自動校準功能,優化了高純度基板生產的性能。其先進的成像和粒子識別系統使其成為高端半導體產業的有力選擇。