二手 KLA / TENCOR 5100 #9351407 待售
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KLA/TENCOR 5100晶圓測試計量設備是一個多功能平臺，旨在提供微電子電路制造行業內的質量控制和過程控制。該系統配備了最先進的光學器件，用於精確測量晶圓上的臨界尺寸和特征尺寸。它包含一個自動計量模塊,可快速分析晶片中復雜的模式,從而提供高吞吐量和可靠的過程控制。KLA 5100采用自動光學顯微鏡裝置，用於檢查各種基板上的圖樣，包括等離子體蝕刻開發的晶片和抗蝕層。它具有高分辨率探測器和精密的軟件，用於識別小缺陷，如坑和空隙，以及精確的微觀測量。工具上的微型機電試驗頭可以快速、準確地探測和測試晶圓上特定樣品上的電信號。該MEMS技術用於精確測量集成電路的功能和電性能。TENCOR 5100還具有用於測量晶圓表面厚度、反射率和地形的多傳感器資產,以及化學機械拋光（CMP）選項,用於測試化學機械拋光技術所產生的表面的均勻性。此外，該模型還包含了一個測量層厚度均勻性的光學散射儀，以及一個非均勻性表面測量（Non-Uniformity-of-Surface Measurement，NUSM）工具，用於分析晶圓表面的微觀不規則性。5100能夠在尺寸範圍內測試晶片,從小於1毫米到最大450毫米。在數據分析方面，設備可用於創建過程控制圖表和值，以測量過程隨時間推移的穩定性。此外，該系統還提供了一個直觀的用戶界面，非常適合開發半導體行業的研發應用。KLA/TENCOR 5100晶圓測試計量單元是一個多功能平臺，旨在為半導體行業提供高吞吐量、精確測量和可靠的過程控制。它采用了各種最先進的技術來分析晶片上復雜的模式和電性能，並提供過程控制所必需的定量數據。該機能夠測量晶圓尺寸從不到1毫米到450毫米，是分析各種基材的理想選擇。
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