二手 KLA / TENCOR 5105 #293592897 待售

KLA/TENCOR 5105是一種晶圓測試和計量設備，設計用於先進的晶圓生產和工藝控制。它以經過KLA驗證的1D和2D檢驗計量技術為基礎，並結合了具有自校準能力的新型300 mm光學顯微鏡系統，以提高吞吐量、提高準確性和提高生產率。該單元提供具有自動模式識別和獨特焦點體系結構的2D幾何對齊計量。KLA 5105提供了改進的線寬測量精度和縮小的測量範圍,從而實現了有效的線寬控制。此外，機器能夠檢測和分析晶片缺陷，如空隙，劃痕和顆粒物。TENCOR 5105采用了TENCOR創新的共焦掃描技術,以確保精確和可重復的測量,同時減少數據收集時間和相關成本。該工具能夠在一次完整掃描中執行48個測量點,從而提高吞吐量並提高最終產量。集成的圖像處理算法也允許改進粒子分析。5105以其先進的低千伏資產，針對200毫米晶圓進行了優化，並能夠100微米分辨率的精確粒徑測量。通過快速有效地識別關鍵缺陷,此功能進一步提高了產量。KLA/TENCOR 5105使用其強大的OpticsFaber 4.2軟件,專門設計用於在短時間內分析單個晶圓和全面板序列。該模型配備了內置的實時CMP監視器和精確分類和測量電阻性開放式缺陷的缺陷分類設備。總體而言,KLA 5105是晶圓測試和計量的理想選擇,可提高速度、精度、吞吐量和精度。它還可以提高過程控制和產量優化。該系統是監測和分析關鍵缺陷、減少周期時間和提高產量的寶貴工具。