二手 KLA / TENCOR 5105 #9117501 待售

KLA/TENCOR 5105是一種高度先進的晶圓測試和計量設備，為精確性能和精度而設計。它對單個晶圓圖上的各種計量特征提供了最可靠和最全面的報告。該系統能夠測量諸如薄膜應力、地形、電氣特性、各種DVD參數、臨界尺寸、叠加、深度輪廓、側壁角度、表面粗糙度和3D高度圖像等參數。它的高級軟件解決方案允許審查多個技術級別,同時考慮到每個模塊的在線啟動和在線結束要求。該單元由一個大的測量區域構成，能夠容納直徑最大為3英寸的多個晶片。該機器設計用於同時對多達16個晶片進行並發測量，允許用戶以最大吞吐量和產量收集數據。KLA 5105工具配備了先進的點計量，提供了高精度和重復性。它能夠以較高的精度檢測線寬和空間、高度差異、地形等等。資產的專利掃描框架確保快速準確的測量。該模型采用模塊化配置,使用戶能夠為其監控需求選擇最佳配置。用戶可以從高級功能中進行選擇,例如晶圓負載和卸載的手動和自動選項、自動重新測量操作以及缺陷分析方面的專家建議。TENCOR 5105設備的設計考慮了用戶安全。它配備了三重冗余安全系統，以防止與關鍵部件意外接觸。該單位還遵守所有地方和國際安全條例。該計算機具有簡單、用戶友好的界面和直觀的菜單,使用戶可以輕松瀏覽可用的功能。它得到KLA廣泛的服務和支持網絡的支持,提供可靠性能的保證。