二手 KLA / TENCOR 5107 #146169 待售

KLA / TENCOR 5107
ID: 146169
晶圓大小: 5"
Inspection System, 5".
KLA/TENCOR 5107是一種晶圓測試和計量設備,利用高分辨率成像結合數據分析來測量晶圓表面的物理性質。它是一個全自動系統,能夠同時測試和驗證多個晶片的準確性,確保無缺陷生產和分析所測試的材料。KLA 5107利用多個激光束和光傳感器,在晶圓表面上創建小結構和缺陷的高分辨率圖像。通過使用先進的圖像處理算法,該單元可以檢測和測量晶圓粗糙度和輪廓中可能指示缺陷或過程變化的微小變化。這使機器能夠隔離問題區域,從而實現快速可靠的缺陷和過程監控。除了提供可靠準確的結果外,TENCOR 5107還提供卓越的速度和靈活性。該工具能夠在幾分鐘內測量和分析整個晶片,包括所有小至0.2納米的測量。它具有多種可互換組件,可用於不同的測試場景。這些組件堅固耐用,可以長時間使用,而不會出現嚴重的磨損。5107輸出可通過圖形打印、數據庫和文件系統等多種格式訪問。所有數據都可以直接導出到工程工作站、實驗室或任何其他類型的控制資產。此模型也具有高度的通用性,可以配置為容納各種測試應用程序。總之,KLA/TENCOR 5107是一種先進的晶圓測試和計量設備,它結合了高分辨率成像、復雜的圖像處理算法和各種可互換組件,以快速靈活的方式可靠地、準確地提供準確的結果。
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