二手 KLA / TENCOR 5107 #293628543 待售

KLA / TENCOR 5107
ID: 293628543
Inspection system.
KLA/TENCOR 5107晶圓測試和計量設備是將自動化光學和表面計量技術與精密晶圓測試相結合的創新工具。KLA 5107利用高精度數碼相機、精密級以及集成的光學成像和處理算法,實現基於圖像的表面檢查和分析功能。TENCOR 5107具有先進的圖像處理算法,可以在分析晶圓表面時實現前所未有的數據粒度。該系統能夠識別微缺陷、表面紋理和形狀測量以及超靈敏晶圓工藝相關變化。這種精確度使5107能夠識別可能顯著影響成品整體質量的過程問題。KLA/TENCOR 5107還提供高達0.1微米的快速、可重復的計量分辨率,以及高達∼5mm x 5mm的視野。這允許測試和評估各種晶圓大小和幾何形狀。此外,KLA 5107還與其他系統集成,以實現額外的集成過程控制和數據同步。這種集成允許設備連續實時監控和更新結果。TENCOR 5107設計用於生產線和研發實驗室。這兩個行業越來越需要對晶圓質量進行準確、可重復和一致的測量,而5107在一臺高性能的機器中提供了所有這些數據。速度、精度和可靠性的結合使得KLA/TENCOR 5107成為晶圓計量和測試的理想工具。總體而言,KLA 5107晶圓測試和計量資產為希望快速準確測量晶圓質量的制造商和研究實驗室提供了革命性的解決方案。TENCOR 5107通過對具有改進的數據粒度、視野、過程集成和可重復計量的創新光學和表面計量技術進行梳理,為自動晶圓計量和測試設定了新的標準。
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