二手 KLA / TENCOR 5107 #9105810 待售

KLA/TENCOR 5107是一種晶圓測試和計量設備，用於半導體工業。它旨在精確測量、檢查、表征和分析含有半導體和MEMS器件的晶片。該系統采用了一系列精密光學、傳感器和成像系統，使其能夠分析各種模具尺寸和應用空間。KLA 5107的主要部件是其高精度的XY級，可以對晶片內的模具進行精確的探測和測試。XY級能夠以高達300 mm/s的速度在測試站點之間移動模具,並具有超微米的耗盡精度,從而確保在給定測試區域內的測量結果一致。該單元能夠自動識別一系列模具尺寸和區域,從而允許選擇晶圓內的單個模具進行測試。TENCOR 5107具有一系列的高分辨率成像系統，允許識別和表征晶圓缺陷。其中包括兩個獨立的線掃描攝像機,可提供高達10.2 um的圖像分辨率,以及五個用於模具特征高分辨率成像的區域攝像機。5107還包括先進的照明系統，允許在模具背面突出特定的結構和結構。在計量應用方面,KLA/TENCOR 5107配備了一系列3D檢測系統,可用於測量表面高度和粗糙度、薄膜和材料厚度、間隙測量和模模配準。這些測量均以高精度進行，確保在分析和工藝開發中準確地表示模具的微觀結構。KLA 5107還配備了一系列分析軟件工具，增強了機器的能力，使檢驗數據得以進一步分析。這些工具還采用了數據挖掘技術，可以生成流程開發和產量分析的趨勢報告。總體而言，TENCOR 5107是一款針對半導體行業的功能強大的晶圓測試和計量工具。它結合了精密光學、成像系統和分析工具，使模具的測量和表征達到微觀尺度，確保測試和計量應用的準確性。