二手 KLA / TENCOR 5107 #9117500 待售

KLA/TENCOR 5107晶圓測試和計量設備是一種高度先進的多通道系統，設計用於精確晶圓測試和計量測量。此基準單元提供了廣泛的功能,包括陣列晶圓缺陷檢查、3D計量、線寬測量和臨界尺寸（CD）檢查。KLA 5107采用高分辨率成像機,在各種材料上實現大於1：200的對比度,以及打印和蝕刻的圖樣。該工具的功能還包括用於運動控制的數字伺服模塊、用於增強晶圓處理的多通道集成平臺以及用於精確結果的異常快速的數據采集模塊。晶圓處理是自動完成的,無需手動處理。TENCOR 5107還具有用於分析和實現精確測量的高級算法。因此,資產可以檢測到小至10nm的缺陷,精度為0.2nm。此外,該模型還可以以高達20 nm的精度測量陣列放置,以及在半導體制造領域的關鍵因素-線寬技術中的詳細尺寸縮小。5107還包括用於處理的高級自動化工具,這些工具簡化了與晶圓測試和計量相關的一些步驟。自動化設備能夠在單個操作中檢測、復制和分析測量結果,從而無需手動處理。這減少了數據分析所需的時間和工作量,使其成為最快的測試和測量系統之一。KLA/TENCOR 5107為精確晶圓測試和計量需求提供了先進的解決方案。該系統具有自動化、高分辨率成像和高級分析工具的獨特組合,為用戶提供了高精度和高效的解決方案。此外,它的多渠道集成中心和非常快速的數據采集模塊使其非常適合任何需要精確晶圓測試和計量測量的應用。