二手 KLA / TENCOR 5200 #293597899 待售

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ID: 293597899
晶圓大小: 8"
Overlay measurement system, 8", parts system.
KLA/TENCOR 5200是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體制造業。它是一個多維系統,能夠在制造過程中對晶片進行多種無損質量保證和控制測試。KLA 5200利用光學和幹涉測量技術相結合,對半導體器件和材料進行高度精確和可重復的測量。它具有自動化的多維成像單元,具有大視野和可調節的照明,以確保晶圓特征的精確對準和準確分析。此外,該機還具有自動對準和校準功能,以減少用戶錯誤並確保可靠的結果。TENCOR 5200能夠測量各種參數,例如臨界溝槽寬度、臨界直徑和臨界角半徑。它還具有用於檢測的內置曲面缺陷庫,以及用於非標準特征的模式識別的特征。該工具配備了先進的數據處理能力,使其能夠從多個角度快速分析數據,手動調整參數以優化結果。數據可以幾種格式導出,並使用其內置以太網連接通過網絡或互聯網傳輸。5200是一種高度可靠和準確的晶圓測試和計量資產,可用於多種應用。它使用戶能夠快速檢查和分析晶片的缺陷,以及測量影響設備性能的關鍵參數。這使得它非常適合在需要快速診斷和精確分析的一系列半導體制造環境中使用。
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