二手 KLA / TENCOR 5200 #293603874 待售

KLA/TENCOR 5200自動晶圓計量和測試設備是一個全自動計量和測試系統，旨在加速半導體器件的開發和制造。它非常適合集成電路（IC）封裝、IC制造和組裝以及模片-晶圓（DTW）測試。該單元為晶片級測試提供高通量、高精度、可靠的測試和檢驗能力，如介電層厚度測量、晶片反射率測量、表面粗糙度測量、光學檢查和屈服增強。該機還支持多種材料的評估，如銅、鍍銅物質、電介質和玻璃。KLA 5200是一種模塊化測試和計量工具,由多個子系統組成。這些子系統是：-晶片加載端口：晶片加載端口是加載和卸載晶片的入口點。它擁有氣動晶片傳輸和操控機器人，以及空氣動力學平衡的視覺資產。-晶片更換器端口：晶片更換器端口用於在各子系統之間移動和存儲晶片。-偏置站：偏置站是高速、高精度的偏置和測試站。它旨在進行各種晶圓級測試和測量以提高產量。-對齊站：對齊站用於在測試和計量之前對齊和固定晶片。該站還用於在測試和計量過程之前保護和定向晶片。-計量站：計量站是主要的測試和計量子系統。它旨在提供準確、可重復和可靠的晶圓級測試和測量。-CCD照相機：CCD照相機用於高性能成像和晶片檢查。它是缺陷識別和分類以及精細晶片模式分析的理想選擇。-晶片傳輸：晶片傳輸模型用於在各個子系統之間移動晶片。它能夠一次攜帶多達120個晶片。除了上述子系統外，TENCOR 5200還包括自動化控制和數據收集的綜合軟件套件。該軟件為晶片檢查、監控和管理設備的各個方面提供了一個用戶友好的界面，包括系統設置、晶片加載、工藝參數配置和測試結果。總體而言,5200晶圓測試和計量單元為半導體器件的開發和制造提供了全面、高通量、高精度的測試和計量解決方案。它支持快速可靠的介電層厚度測量、晶圓反射率測量、表面粗糙度測量、光學檢查和屈服增強。