二手 KLA / TENCOR 5200 #293624519 待售

ID: 293624519
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200是一種自動化晶圓測試和計量設備,用於半導體行業的高級工藝控制和產品開發。這種最先進的設備具有集成的測試和分析功能,能夠進行從晶圓開始到晶圓完成的高效晶圓測試。該系統配備了晶圓矩陣測試(WMT)站、內置掃描電子顯微鏡以及先進的圖像分析工具。WMT單元提供了一個晶片中多達七個不同層的高分辨率圖像,並實現了快速決策。通過無損檢測和先進圖像分析相結合,KLA 5200可以在幾分鐘內準確確定缺陷。掃描電子顯微鏡為每一層提供了高度詳細的三維圖片,以檢測比WMT產生的二維圖像所能有效看到的更深的缺陷的存在。通過對每一層的詳細分析,機器能夠準確識別和區分納米級的結構。集成的CDS圖像分析軟件提供了一整套高級測量、分析和缺陷識別功能。這使操作員能夠快速準確地識別和定位重要特征,如橋梁缺陷、線條缺陷、接觸孔和其他特征。TENCOR 5200旨在讓操作員完全控制他們的晶圓測試過程。該工具是高度可配置的,允許操作員根據其特定要求定制檢查標準。它還具有可調的靈敏度,以便更精確、更精細地檢測缺陷。此外,該資產還包括一個全面的參數和算法庫,以簡化整個過程。5200適用於研發實驗室和生產環境。它的自動化操作確保了一致、可靠的結果和資源的有效利用。KLA/TENCOR 5200結合了創新的硬件、先進的圖像處理和簡化的用戶界面,是一種功能強大的晶圓測試和計量工具,可實現更快、更有效的決策。
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