二手 KLA / TENCOR 5200 #293752141 待售

ID: 293752141
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Overlay measurement system, 8" (2) Open cassettes Operating system: Windows NT 2000 vintage.
KLA/TENCOR 5200是KLA最先進的晶圓測試和計量系統。KLA 5200提供卓越的性能,具有快速的吞吐量和高精度,非常適合制造商和工藝開發人員。它是2D和3D全球檢測或計量的理想平臺。TENCOR 5200利用最新技術在晶圓或線級快速檢測異常值並產生趨勢。它具有全狹縫采樣到狹縫掃描功能,每小時可提供高達150個晶片的快速數據處理,而其超精確的光學平臺可確保精度和精度降至10 nm可重復性。5200具有先進的基於軟件的系統和檢查、3D表征和過程控制功能,非常適合現代制造。它包含自動化過程、廣泛的自動化和過程控制,以及用於晶圓檢查和分析的功能豐富的數字環境。它支持數字圖像分析,用於用戶可定義的缺陷檢測,並提供過程分析和自動缺陷審查,以幫助識別元素缺陷。KLA/TENCOR 5200具有開放式體系結構和第三方模塊化功能,能夠緊密集成到客戶現有的基礎架構中。它具有直觀的圖形用戶界面,易於使用,其高級自動化功能消除了繁瑣的手動操作步驟。KLA 5200是一個綜合晶圓測試和計量系統,設計時考慮了行業標準。其卓越的性能和準確性,加上模塊化和易於使用的設計,使其成為2D和3D全局檢查、表征和過程控制的完美系統。有了TENCOR 5200,制造商和工藝開發者可以保證高產量、更短的開發時間和最大的效率。
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