二手 KLA / TENCOR 5200 #293771819 待售

KLA/TENCOR 5200是一種高性能、多傳感器的計量設備，專用於晶圓測試和計量。該系統提供了先進晶圓檢測和計量功能的獨特組合。KLA 5200支持多種傳感器技術和子系統，包括輪廓掃描、2D成像、色彩剖析、薄膜厚度測量、晶圓曲率測量和表面映射。這種強大的組合提供了一個高能力和精確的晶圓檢驗和計量單元，能夠檢測亞微米級缺陷和評估缺陷類型，以確定其來源。該機器包括幾個軟件模塊，這些模塊允許自動化測試和計量功能的集成。這樣可以最大程度地降低測試錯誤的風險,並實現高效、高通量的晶圓檢查。此外,軟件模塊還提供各種可定制的選項,使操作員能夠調整檢查的參數以最好地滿足其要求。這些功能允許使用高度自動化、可靠和準確的晶圓測試和計量工具。TENCOR 5200資產還具有高精度掃描功能，能夠測量內存「比特卡」和模上測試結構等小特性。該模型專為檢查包括蝕刻、薄膜、厚膜層在內的半導體晶片而設計。設備由幾個子系統組成，每個子系統設計為執行不同的任務。其中包括晶圓機器人系統、晶圓映射單元、晶圓運動機、晶圓表面采集工具和晶圓分析資產。此外，該模型還可與KLA自動缺陷分析設備集成，確保對缺陷進行實時、高效、準確的分析。5200是一個高性能晶圓測試和計量系統,提供強大的功能和各種高級功能。該設備高度自動化和可靠,能夠進行高效、高通量的測試和計量。它專為檢測亞微米級缺陷而設計，為制造商提供了準確評估缺陷類型和鑒別其來源的能力。KLA/TENCOR 5200具有全面的特性和功能,是半導體晶片測試和計量的領先解決方案。