二手 KLA / TENCOR 5200 #293808796 待售

KLA/TENCOR 5200是一種高速晶圓測試和計量設備，提供對半導體地形、表面結構和化學性質的精確測量。該系統設計可容納200毫米半導體晶片，其先進技術使其能夠以超高精度測量小至0.3微米的特性。KLA 5200利用各種先進、精密的光學傳感器和軟件算法來詳細描述每個晶圓步驟。該裝置可配備幾個針對不同測量優化的高性能光學傳感器，如用於表面平面度的激光幹涉測量、用於精確厚度測量的白光幹涉測量和用於高分辨率成像的單色光學輪廓測量。機器的能力進一步豐富，增加了自動探測站，使用戶可以高速快速裝卸晶片。此外,該工具能夠精確分析晶片缺陷,對實時數據（包括最小地形和厚度測量）進行準確分析,並能夠比較晶片之間的特征。TENCOR 5200采用全晶片顯微鏡成像來捕捉微觀結構特征的高分辨率圖像，以及單模成像來提供整個晶片的全面視圖。通過使用獲得專利的晶圓圖樣匯總（WPS）技術，資產生成了整個晶圓地形的3維表示，從而可以對薄膜表面和厚膜表面、多個工藝層以及其他精細尺度特征進行精確分析。5200還提供了自動和手動測量的獨特組合，以促進蝕刻工藝和CMP工藝的優化。該模型具有測量橫截面以及V形凹陷孔和銷孔深度的能力。此外，自動化機器視覺功能允許晶圓的自動裝訂和模式匹配，即使使用低功率照明。總體而言，KLA/Sequent KLA/TENCOR 5200對於200 mm半導體晶片的精確測試和計量是一個強大且經濟高效的解決方案。它結合了先進的光學傳感器和專門的算法，提供高精度的測量測量，以及對缺陷、地形、厚度、橫截面圖像和圖案匹配的詳細分析。KLA 5200擁有一套先進的特性和功能,可以提供確保當今半導體器件完整性所需的深入分析。