二手 KLA / TENCOR 5200 #9113826 待售

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ID: 9113826
Inspection System, 6" 2000 vintage.
KLA/TENCOR 5200是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是在先進的半導體制造階段為關鍵工藝提供卓越的精度和精確度。廠商依靠這個系統來識別小缺陷,降低成本,提高產量率。一旦晶片被放置到KLA 5200的成像模組中,一個單元的激光器、探測器和光學器件會測量晶片表面的各種特徵大小。激光被引導到樣品上,然後由光電二極管或CCD探測器收集,並由機器的計算機硬件進行分析。這樣可以對晶片的特性進行精確、定量的測量。同時,信息以各種格式提供,用於報告、圖形輸出和糾正操作。TENCOR 5200配備了一系列用戶可配置的硬件和軟件選項,使應用程序能夠靈活地滿足任何制造環境的需求。這包括一系列計量頭,涵蓋粒子檢測、覆蓋、背面計量和其他過程。每個系統都是為了優化測量過程而設計的,而模塊化設計則有助於減少停機時間和維護成本。該工具還能夠自動測量、分析和修理生產材料。這樣可實現快速、準確的過程控制,以確保生產線的最佳性能。它也可以用來分析晶圓表面的缺陷並辨別原因。該資產甚至可以與其他系統結合使用,以啟用逆向工程功能,允許用戶基於現有晶圓創建設計。最後,5200憑借其直觀的用戶界面提供了更好的用戶體驗。它可以輕松導入和導出CAD數據,從而輕松創建部件。符合人體工程學的設計也有利於長時間工作的操作員,提高他們的生產率水平。KLA/TENCOR 5200是一種精密的晶圓測試和計量模型,能夠提供準確可靠的結果,幫助推動半導體行業的制造過程。它采用先進的硬件和軟件,以及用戶友好的界面來增強用戶體驗,使其成為任何制造環境的絕佳補充。
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