二手 KLA / TENCOR 5200 #9213909 待售

KLA/TENCOR 5200晶圓測試和計量設備是一個完整的過程、缺陷、分析和數據管理解決方案。該系統旨在最大限度地提高性能、可靠性和吞吐量,同時提高晶圓級產量和產品質量。該單元包含一個高通量的512通道空間可選的TEMax-II檢測模塊（TEMax-II DM），能夠快速準確地檢測整個晶圓的重要過程變化、像差和電氣特性。這與通過Waferflux TM工藝控制模塊的高級工藝監控相結合,該模塊能夠以閉環方式調節工藝溫度和流程。利用先進的Scan-and-MatchTM軟件驅動的特征識別技術,機器可以快速檢測和量化晶圓上的模式,從而實現快速、準確的產量分析和過程優化。此外,KLA 5200晶圓測試和計量工具的設計可提供一流的精確度和精確度,其精確度可降低到每像素1 nm,速度可達每秒5,000次。每個模具每個模式最多可分析六個不同的物理電氣參數，結果存儲在數據庫中以便於檢索。直觀的用戶界面和對操作員友好的功能提供了可自定義的訪問級別、輕松的數據輸入管理以及與其他系統的輕松數據互換性。TENCOR 5200資產具有大量強大的分析和故障追蹤功能。它提供了多個信號檢測算法和模式識別軟件來識別和隔離整個晶圓的缺陷。它還支持與自動缺陷識別（ADR）、模具級故障分析（DLA）、集成電路測試測量系統（TMMS）等故障隔離系統集成，以實現全面準確的屈服表征和缺陷分析。最終，5200晶圓測試和計量模型是一個過程監測和分析的綜合解決方案，具有易於使用的界面、先進的檢測和分析能力，以及高精度和高通量的能力，用於快速、準確的屈服分析和缺陷診斷。這種設備在半導體工業中越來越流行，在半導體工業中，工藝的變化和準確性至關重要。憑借其特點，它非常適合中高批量生產作業和研發。