二手 KLA / TENCOR 5200 #9233117 待售

KLA/TENCOR 5200是為半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。該系統為晶圓測試提供了極好的精度和速度，使其成為市場上最先進的計量單元。KLA 5200采用緊湊的設計,使其適合200 mm或300 mm的制造系列。它還具有先進的軟件包和硬件體系結構,為晶圓采樣提供卓越的性能。這臺機器能夠同時測試多種底物，包括矽、砷化氙、氧化鋁等材料。TENCOR 5200利用光散射法和幹涉法來精確測量跨一系列層、過程和步驟的晶圓參數。它能夠測量晶圓的光學、電氣、物理和化學參數及其相關技術。然後由工具收集數據並進行分析,以確保質量標準得到維護。借助5200的現場計算能力，資產能夠對晶圓、工藝或基板進行實時調整，以細化任何缺陷。它還具有識別晶片性能動態趨勢的能力。KLA/TENCOR 5200生成可導出的自動計量報告、顯示缺陷特征的透射電子顯微鏡（TEM）圖像以及晶圓材料的橫截面圖像。KLA 5200提供了許多其他好處,包括改進的產量管理、廣泛的支持應用程序和遠程控制功能。它的模塊化設計使用戶能夠用其他制造商的組件輕松更換或升級其零件。該模型與行業標準接口兼容，使其能夠與生產控制和數據收集系統集成。總體而言,TENCOR 5200是一種先進而可靠的晶圓測試和計量設備,具有許多功能。它能夠精確測量各種基板、層和工藝的各種參數，提供對晶圓性能的寶貴洞察。該系統為用戶提供了一種快速、準確和可靠的方法來測量、測試和分析晶片及其相關技術,使其成為半導體制造的寶貴工具。