二手 KLA / TENCOR 5200 #9299363 待售
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ID: 9299363
Overlay measurement system
(2) VS46K-EA Digital VAX station 4000 60 CPU KA4A
(2) FR-925WW-CD Digital venturis 5100
PC Included.
KLA/TENCOR 5200是一種先進的晶圓測試和計量設備,專為高精度、卓越的性能和準確性而設計。KLA 5200專註於先進的維度、過程中和過程後晶片計量,具有卓越的晶片聚焦控制功能,可提供卓越的測量和可重復性。該系統設計用於測量各種基板上的納米、亞微米和微米級特征,包括矽和砷化的。它還提供一系列高分辨率、高速成像和共聚焦顯微鏡功能。TENCOR 5200配備了多種傳感器和探針卡的選擇,用於測量、分析和檢查各種測試參數,如臨界特征、特征大小、線寬、平坦度等。此外,該單元還提供多種不同的掃描技術,如Photomask/Stencil Inspection、Sidewall Imaging、3D Topography和Thin Film Analysis。憑借其廣泛的可配置選項,可以定制計算機以滿足任何客戶的特定需求。該工具提供了廣泛的測量、掃描、成像和對齊選項,使其能夠測量甚至最復雜的形狀和輪廓。5200還配備了用於分析、控制和報告所有類型晶圓特性的強大工具集。這包括一個可視化的報告功能,允許工程師以用戶友好的格式快速查看和分析測試結果。此外,該資產還具有自動化采樣計劃程序,可幫助定義和捕獲最具代表性的數據批次。它還提供遠程診斷,使用戶能夠遠程診斷、診斷和控制其模型。KLA/TENCOR 5200提供業界最先進的晶圓測試和計量能力。它具有無與倫比的性能、準確性和可靠性,是任何需要精確測量和詳細分析的應用程序的理想選擇。
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