二手 KLA / TENCOR 5200XP #9118489 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9118489
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Overlay measurement system, 8"
Hardware:
Chuck 8"
Autoloader
(2) 8" open cassette load ports
Main VME card cage
Motor VME card cage
Flotation module
LINNIK and KLAASP
Power module
Hardware configuration:
Main console
Handler: dual open cassette
(2) Load ports: 8" open cassette
Signal tower
GEM/SECS
Network
Standard wafers: DSW75.1
Main VME card cage:
CPU board
Memory board
Video (frame grabber) board
I/O board
PZT controller board
Motor VME card cage:
Motor CPU board
Stepper driver board 1-4
Encoder interface board
Stage:
XYT stage
Z Motor
Host chuck
Z PZT
X PZT
Y PZT
PM target
Floatation module:
(4) Isolators
(3) Proximity sensors
PID board
LINNIK and KLAASP:
Arc lamp housing
Dual aperture
LLG
LINNIK camera
PIN diode array
P PZT
Shutter
KLAASP camera
Power module:
Power transformer
AC compartment
Main DC power supply
Arc lamp power supply
Vacuum and pressure air inlet
(3) Vacuums
CDA
Software:
Windows NT 4.0
Software 14.60.02
GEM/SECS
KLASS 4.1.1.1
Computer configurations:
Pentium II 400 MHz CPU
128M Ram
(2) 9G hard drive disk
Floppy drive
CD ROM
Tape driver
Monitor
Thermal printer
Keyboard/track ball
Options: UPS
Facilities:
225VAC, 50/60 Hz input power
25"Hg input vacuum
97-110 PSI input CDA
Manual
1997 vintage.
KLA/TENCOR 5200XP是為提高性能和可靠性而設計的最先進的晶圓測試和計量設備。這對於開發和生產半導體器件以及各種材料和基材，如矽、砷化氙和薄膜至關重要。KLA 5200XP擁有獨特的專利設計架構，包括多層宏觀成像系統、強大的圖像采集和圖像處理單元、先進的幹涉測量機以及完全可定制的計量軟件。該工具具有高分辨率成像支持和測量功能，其中包括自動采樣地形繪圖和叠加映射。采用了高像素分辨率、16位信噪比和400萬像素CCD攝像機的二維缺陷檢測算法。還包括波前像差和Zernike分解，用於測量表面粗糙度、平坦度、功率、曲率半徑、散焦、散光和傾斜等因素。所有參數都可以通過用戶友好的觸摸屏界面輕松設置。TENCOR 5200 XP采用可擴展的內部內存設計，最多可存儲30,000個映像。該設備同時支持數據流到外部計算機和獨立操作。它還具有具有先進的自動縮放、平移和傾斜模式的自動對焦資產,能夠以最小的工作量優化樣品查看,並且該設備能夠測量直徑可達10英寸的樣品尺寸。由於可變尺寸的機器人樣品托盤，安裝、清潔和維護都很容易，而且模型包括高汙染環境下的中層幹泵。此外,5200XP晶圓測試和計量設備具有標準的IEEE通信,以及一系列其他選項,如無線連接、數據鏈路安全和遠程在線診斷。KLA/TENCOR 5200 XP是廣泛的晶圓測試和計量應用的理想選擇,包括移動設備IC表征、故障分析、過程故障排除和屈服分析。它提供了比以往更快的性能和高度準確的結果,具有無與倫比的可靠性級別,有助於降低成本和提高設備產量。
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