二手 KLA / TENCOR 5200XP #9157118 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供半導體制造過程中的精度和精確度。它是一種先進的晶圓檢測工具，旨在檢測和測量晶圓表面的缺陷。該系統配有高分辨率數碼相機和大型自動化視覺單元（AVS），用於分析測試晶片的圖像，獲取標稱分辨率為0.1微米的詳細計量數據。KLA 5200XP采用了多種技術來分析晶片，包括光散射成像（LSI）、反射能量成像（REI）和光學亮度成像（OBI）。這些技術允許檢測晶圓區域中即使使用高分辨率顯微鏡也難以接近的小缺陷。機器還支持接觸成像，這是一種用於測量晶圓表面上觸點高度變化極小的技術。TENCOR 5200 XP還使用了一系列自動化晶圓測試和分析工具，如缺陷和公差分析以及光學參數分析。這些工具可以對晶片表面缺陷進行完整的評估,確保在制造過程之前確定設備正常運行的潛在危險。作為一種自動化工具，TENCOR 5200XP可以減少管理檢查過程所需的人力，保持高精度。它具有閉環制造能力，可以控制設施中其他系統的運行。此外，5200XP還可用於測量和存儲晶圓測試和計量數據，從而能夠更準確地評估當前的工藝參數。綜上所述，5200 XP是一種通用的晶片測試和計量資產，旨在為晶片表面提供準確、高分辨率的分析。它具有一系列自動測試和計量工具,用於檢測和測量缺陷,從而可以更好地控制制造過程。該模型還包括先進的視覺技術和閉環制造能力，以減少勞動力和最大化精度。