二手 KLA / TENCOR 5200XP #9167259 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一種晶圓測試和計量設備，屬於KLA 5200系列計量產品的一部分，以及它們的旗艦系列電子反向散射衍射（EBSD）系統。KLA 5200XP專為生產計量環境而設計，提供光學計量能力以快速測量芯片或晶片的厚度、應力和結構特性。該系統使用高速空間光調制器（SLM）投影和探測圖像到晶圓表面，使其能夠精確準確地測量晶圓的各種特性。定向光，包括斜光和斜光，用於改善臨界面積測量和減少偽影。為了提高設備的準確性和可重復性，光源在晶片表面上不斷掃描。TENCOR 5200 XP提供尖端的系統、過程和分析,以確保最優質的晶圓。它能夠自動檢測和診斷主要和次要缺陷,同時精確測量諸如蝕刻深度、模具寬度和厚度、細線寬、應力剖面等關鍵參數。此外,該機器還提供了一套全面的分析軟件,使用戶能夠快速檢測像差、識別趨勢並了解芯片或晶片缺陷的根本原因。KLA/TENCOR 5200 XP為支持並行測試而構建，有四個獨立的測量通道一次測量多個晶片。精確和高級的光學對準可確保該工具始終提供準確的數據,低功耗可確保高可靠性。5200 XP還能夠進行精確的色度校正,在顏色測量方面提供更高的精度,並允許更快的掃描時間。綜上所述，KLA 5200 XP是專門為高速生產環境設計的先進晶圓測試和計量資產。其高度精確的光學模型、強大的分析能力以及並行測量通道確保了精確準確的測量。該設備能夠快速準確地測量關鍵區域,包括蝕刻深度、模寬和應力剖面,使其成為芯片和晶片生產的理想選擇。