二手 KLA / TENCOR 5200XP #9214648 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體生產中的計量和檢驗應用。KLA 5200XP系統具有高精度和高通量的解決方案,可用於提高產量和可靠性。該單元利用先進的成像技術，如飛行時間二次電子和反向散射電子，使其能夠提供卓越的分辨率成像和高靈敏度缺陷檢測。此外,反卷積算法還能夠識別較小的特征和缺陷。自動對齊和成像功能（如步進和掃描以及圖像縫合）,使計算機能夠減少圖像所需的總面積,同時需要更少的用戶交互。TENCOR 5200 XP還包括各種增強圖像分析的功能，如自動缺陷分類算法和參考設計庫，讓用戶能夠準確地將結果與已知標準進行比較。此外，KLA 5200 XP通過與光學檢查系統和一級缺陷分析系統等其他系統的接口，為缺陷分析提供了更加集成和高效的工作流程。該工具還可以為各種應用提供計量解決方案,包括臨界尺寸測量、CD均勻性、叠加精度和直線平整度。它還集成了激光幹涉測量，可用於測量由過程變化引起的特征臨界尺寸和層高的劇烈變化。KLA/TENCOR 5200 XP也有多級自動化，使資產從晶圓向晶圓移動的精度和精度都很高。5200XP由於其卓越的分辨率成像、先進的缺陷檢測算法和自動化能力的結合，已成為各種應用的計量和檢驗模式。它與其他系統接口的能力確保了高效、集成的工作流,從而提高了晶圓的總體產量和可靠性。