二手 KLA / TENCOR 5200XP #9230350 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提供半導體器件制造和在線過程監控方面的最高性能和準確性。憑借其先進的功能,KLA 5200XP提供了一個理想的平臺,用於過程和產品表征、產量改進以及缺陷檢測和糾正。該系統包括一個階段/程序模塊、一個掃描/檢查模塊和一個分析器模塊。stage/prober模塊為要測試的晶片以及一系列自動晶片處理組件提供了工作表面。掃描/檢查模塊利用獨特的相控陣掃描頭來精確測量晶圓頂部和底部的特征。分析器模塊提供統計和計量數據以及缺陷數據分析。該單元能夠測量單個和陣列設備晶片上的特征、厚度、缺陷和地形。它利用廣泛的內置傳感器進行多種計量，如光學反射法、電容、渦流、激光幹涉法、偏轉法和反射法。TENCOR 5200 XP還附帶了廣泛的專用工具，如紅外（IR）圖像分析、先進的成像和模式識別能力、納米尺度線寬測量的先進技術以及3D地形和線寬測量的專用工具。該機器用途廣泛,可根據特定的應用程序需要進行配置。它采用行業標準接口和規模能力設計,可輕松連接外部儀器和軟件。它還設計了一系列先進的可靠性功能，以確保可靠和連續的操作。5200 XP非常適合產品和過程驗證,以及生產和產量改進活動。它由經驗豐富的專家團隊提供支持,提供業界領先的客戶支持。憑借這些功能,KLA/TENCOR 5200 XP是希望提高效率、提高產量和降低生產成本的制造商的完美解決方案。